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1、拆后轴承压盖，用勾板手将两圆螺母松开，取下轴承座及轴承。
2、松开填料压盖螺母，取下填料压盖。
3、拆下连接结泵盖与泵体的六角螺栓和泵盖底脚处螺栓后，取下后端盖。
4、取下西门子真空泵泵体。
5、松开另一端底脚螺栓。
6、卸下西门子真空泵的联轴器，并取下轴上的键。
7、卸下前轴承部件。
8、卸下西门子真空泵前端盖后将轴和叶轮一起取出。
西门子真空泵某些拆卸流程是与装配程序相反的，需要注意的是：拆卸时一定要将各部件归并放置。
如何对西门子真空泵进行正确的拆卸